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  • 電容式位移傳感器應用案例

     

    應用一 高精度定位

    1)高精度位移機構的定位傳感器,尤其是納米級定位。如封裝機中的位移機構,壓電陶瓷電機,音叉電機,納米位移臺等;

    2)快速伺服機構的高精度定位,如機床的位移控制機構;

    3)相對運動或相對位置的精確定位,重復定位;

    4)靜力水準儀,用于大型設施高精度水平控制。

     

    應用二 位移變形角度振動等測量

    1)轉軸、位移臺等移動位移、直線度、平面度測量;

    2)材料剛度、撓度、膨脹、變形等精密測量;

    3)高精度角度傳感器或旋轉編碼器;

    4)振動測量,如主動隔振系統、半導體制造平臺或晶圓片的微小振動、航天部件超高頻微小振動檢測等。

     

    應用三 厚度檢測

    1)油膜、水膜、絕緣層厚度;

    2)零件、薄膜、光盤、磁性介質厚度;

    3)剎車片厚度檢測(磨損檢測);

     

    應用四 旋轉機械間隙、跳動測量

    1)軸心軌跡或跳動監測、如高精度電機主軸、機床主軸、硬盤驅動電機、軸承等;

    2)發動機轉子軸向間隙、級間間隙、蓖齒間隙檢測;

    3)發動機、轉子等裝配間隙檢測;

     

    應用五 自動對焦或調零

    1)天文望遠鏡等對焦對準或位移機構控制;

    2)半導體加工過程光學鏡頭對焦或調零控制;

    3)激光切割機或焊接機對準調零控制;

     

    應用六 介電常數檢測

    1)油液品質檢測;

    2)非導電材料密度測量;

    3)培養皿液面高度測量;

    4)物料水份的測量;

    5)絕緣層破損檢測;

    6)塑料薄膜厚度檢測,鋰電池復合膜厚度檢測。

     

    enlightened薄膜厚度測量

    隨著薄膜厚度的變化,傳感器與金屬輥間的介電常數會發生變化,從而測出薄膜厚度的變化。

     

     

    enlightened油膜厚度測量

    隨著油膜厚度的變化,傳感器與活塞間的介電常數會發生變化,從而測出油膜厚度的變化。

     

     

    enlightened晶圓厚度測量

     

     

    enlightened軋鋼板厚度測量

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